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乾燥機
フォトレジスト用乾燥炉

フォトレジスト用乾燥炉

フォトレジスト用乾燥炉

 

乾燥炉内、埃の付かないクリーンエアー循環

内外装SUS 304使用

3段棚仕様(PCラックごとそのまま炉内へ)

HEPAフィルター標準仕様

上部ダクト装着(湿気排出)